第539章 这一次，我想直接冲整机！ (第1/2页)
两周后。
整机测试中心。
最后一轮连续运行的数据出来时，老梁盯着屏幕看了足足半分钟，才把手里的笔往桌上一放。
“过了。”
旁边几个研究员顿时松了口气。
这半个月，他们换了好几种工作节拍，又做了长时间负荷变化测试。
陈知远提出的动态补偿方案，没能把所有误差一扫而空，却在事先划定的工况内始终保持着明显优于旧方案的表现。
没有再出现先前那种补偿越补越乱的情况。
老梁把报告往陈知远面前一推。
“你看看，你那套东西，这回算是真正站住了。”
陈知远翻了两页，“嗯，跟预计差不多。”
老梁差点气笑，“你倒是挺淡定。”
“我又不是第一次看这组数据。”陈知远笑道，“而且这才解决了一类动态漂移。”
“得得得，知道你眼光高。”
老梁嘴上抱怨，脸上的笑意却怎么都压不住。
几个月没找到突破口的问题，如今终于有了一套能反复验证的处理办法。
他比谁都清楚，这份报告有多值钱。
不过陈知远说得也没错。
解决一种漂移，不等于整台光刻机就能稳定干活。
当前原型平台可以完成基础曝光，可要让一片测试晶圆连续完成多轮对准曝光，各个系统必须在同一套工作条件下配合。
真正难的，是把它们合在一起。
而这，也正是今天这场联合推进会要讨论的事。
上午十点。
陈知远推开会议室大门时，里面已经坐了三十多人。
除了周启山，还有另外两位院士。
一位负责光源与相关工程系统，另一位长期负责整机工艺集成。
各家研究所、设备单位的技术负责人也来了。
跟上次不同，今天谁都没有再把陈知远当成一个来旁听的年轻学生。
有人主动冲他点头，有人跟他打招呼。
老梁甚至直接替他拉开了前排的椅子。
“坐这儿，待会儿肯定要问你。”
陈知远也没客气。
会议开始，周启山先把两周来的验证结果作了简短通报。
新方案已经完成阶段性测试，正式转入后续工程优化。
几位负责人听得很认真。
但真正讨论到下一阶段，气氛很快就变了。
投影屏幕上出现了一张整机联合测试计划表。
光源组还有稳定性测试没完成。
反射光学组准备更换一套测量标定流程。
工件台和控制组正在调整接口。
工艺验证那边，则一直在等一个足够完整的连续测试窗口。
每个组都有自己的计划。
每个计划单独看，也都说得过去。
问题是，把它们排到一起，下一次完整的多轮对准曝光验证，竟然被排到了几个月以后。
“再快也得先把基础打牢。”一位负责人说道，“现在就强行联调，测试窗口可能都耗在排故上，最后各组自己的任务也耽误了。”
负责工艺验证的院士点了点头。
“风险确实有，样片做出来不难，难的是结果要能重复，还得经得起独立检测。”
光源方向的负责人接过话头。
“我们也不是不想配合，可我这边还有自己的节点，一旦整机联调占了设备，原来的安排就得往后挪。”
没人吵架。
他们都是干了几十年科研的人，当然知道轻重。
正因为每个人都在认真对待自己的任务，才更难轻易拍板。
周启山听完，正准备让人把几个窗口重新核算一遍。
“周院士。”
陈知远忽然开口。
几道目光同时落在他身上。
“我能不能说两句？”
“你说。”
陈知远看着投影上的进度表，忽然问了一个问题。
“我们现在缺的，到底是各个子系统再多一份漂亮的测试报告，还是一片真正通过整机验证的晶圆？”
会议室安静了一下。
一位负责人皱眉：“你的意思是？”
“每个组都在尽量把自己那部分做到最好，这没有错。”
陈知远拿起桌上的笔，指了指几处被分散安排的测试节点。
“可整机的问题，光靠各组分别把数据做漂亮，是找不全的。”
“就像前面那类动态漂移，光学组的记录没错，控制组的记录也没错，真正的问题，偏偏出在它们一起运行的时候。”
老梁听得连连点头。
这事他亲身经历过，太有发言权了。
陈知远继续道：“既然迟早要把它们放在一起，为什么不先拿现有平台，集中攻一次完整验证？”
负责工艺集成的院士抬起头。
“你说的完整验证，具体到什么程度？”
“在现有原型平台和安全边界内，完成一批多轮对准曝光测试晶圆。”
陈知远说得很清楚。
“要有重复样片，要有独立检测，不是拍一张成功的图，也不是做出一次偶然好看的结果。”
“这当然是我们想要的。”对方看着他，“问题是，你准备什么时候做？”
“一个月。”
三个字落下。
会议室里一下子安静了。
老梁原本正端着水杯，听到这里，动作都顿了一下。
一个月？
现在排出来的计划，可是几个月以后！
“知远。”周启山缓缓开口，“这话可不能随便说。”
“我知道。”
陈知远神色平静。
“所以我说的是现有原型平台的阶段性整机验证，不是造出能量产的EUV光刻机，更不是一个月把所有问题解决。”
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