第536章 他们要造的，是国产EUV光刻机！ (第2/2页)

他伸手指向屏幕。
　　
　　“先把光学系统的历史热负荷、实际测量变化、工作台补偿指令，以及最后的曝光偏移放到一起。”
　　
　　“别只对齐时间，试着对齐它们真正生效的过程。”
　　
　　“如果关系存在，就应该能在已经做过的实验里找出来。”
　　
　　周启山坐直身体，问：“你是想先用历史记录建立一个动态关联模型？”
　　
　　“对。”
　　
　　“然后呢？”
　　
　　“挑几组工况不同的数据验证。”陈知远说道，“如果能解释过去那些看着随机的偏移，再考虑调整补偿策略，要是解释不了，直接排除这个方向。”
　　
　　周启山看了他一会儿，“你有多大把握？”
　　
　　陈知远笑了笑。
　　
　　“现在说百分之多少没什么意义，不过，既然数据都已经有了，何必先花时间拆设备？”
　　
　　旁边几位专家交换了个眼神。
　　
　　原定安排里，光学组准备启动新一轮标定，甚至需要停机。
　　
　　如果他的判断成立，这笔时间完全可能省下来。
　　
　　周启山转头看向顾明远。
　　
　　“顾所长，你之前说他很擅长从多组数据里找关键问题，我现在有点明白了。”
　　
　　顾明远笑而不语。
　　
　　说实话，这一幕他已经不是第一次见了。
　　
　　周启山又看向控制组负责人。
　　
　　“老梁，下午那轮重复排查，能不能往后调整半天？”
　　
　　老梁想了想：“非紧急部分可以。设备那边我来协调。”
　　
　　“那就先做数据回放。”
　　
　　周启山直接定了下来。
　　
　　“光学、计量、控制三个组，各出一个熟悉原始记录的人，陈知远需要的数据，在本次任务授权范围内给他开只读权限。”
　　
　　他顿了顿。
　　
　　“先看一个典型批次，今天能不能把这条线索弄清楚。”
　　
　　没人提出异议。
　　
　　十几分钟前，陈知远才刚加入专项。
　　
　　现在，项目组的一项既定安排已经因为他改变了。
　　
　　下午三点多。
　　
　　另一间工作室里，几台显示器并排亮着。
　　
　　老梁亲自带人调出了原始记录。
　　
　　“先说明白，这些数据我们不是没分析过。”他把椅子往旁边一拉，“你要是真能看出新的东西，我第一个服。”
　　
　　“那就先别急着服。”
　　
　　陈知远坐了下来，随手接过鼠标。
　　
　　“麻烦把这一段之前的热负荷变化也调出来。”
　　
　　“往前多少？”
　　
　　“先把整个测试阶段都放进来。”
　　
　　屏幕上的曲线重新排列。
　　
　　一条是光学系统的状态变化，一条是工作台补偿指令，还有一条，是最终测得的曝光位置偏移。
　　
　　乍看之下，依旧乱得没有规律。
　　
　　陈知远盯着屏幕，目光一点点扫过。
　　
　　那些分散的数据在他脑海中迅速串联。
　　
　　【真理之眼】让他从纷杂的记录里，抓住了最值得验证的那条线索。
　　
　　“这里。”
　　
　　他忽然指向一处波峰。
　　
　　“把前面的热负荷变化和后面的实际偏移，按照刚才那个响应过程重新拟合。”
　　
　　老梁依言操作。
　　
　　几秒后，两条原本看着没什么关系的曲线，开始在几个关键变化点上呈现出相近的趋势。
　　
　　老梁愣了一下。
　　
　　“等等。”
　　
　　他把图放大，又核对了一遍数据来源。
　　
　　“这段偏移……好像真能对应上。”
　　
　　旁边的计量组研究员凑了过来。
　　
　　“只是一个批次，说明不了什么。”
　　
　　“没错。”陈知远点头，“所以还要看别的。”
　　
　　不知什么时候，周启山也走进了工作室。
　　
　　他没打断几个人，只是站在屏幕前，看完了那段回放。
　　
　　过了好一会儿，老人开口。
　　
　　“老梁，后面那组不同工况的数据，还没拿来做过这套分析吧？”
　　
　　“没有。”
　　
　　“调出来。”
　　
　　老梁看向陈知远。
　　
　　陈知远把鼠标放下，神色依旧平静。
　　
　　“正好。”
　　
　　他指了指屏幕上那条刚刚显露规律的曲线。
　　
　　“如果下一组也能对上，那咱们之前的排查重点，恐怕真的得换一换了。”
　　
　　周启山盯着屏幕，没有说话。
　　
　　因为他比谁都清楚。
　　
　　一旦这个判断得到验证，改变的就不只是一场会议的安排。
　　
　　而是这台国产EUV光刻机下一阶段的攻关方向。