第一百四十三章 土法炼钢，以用促研 (第1/2页)

阿巴斯港的夜晚，咸湿的海风裹挟着柴油味，吹拂着那座外表破败、内里却灯火通明的保税区仓库。
　　
　　朴成焕蹲在一台八十年代苏联产的抛光机前，手里拿着一块刚研磨完的8英寸晶圆。在H公司加州圣克拉拉的顶级实验室里，他曾经用着全自动的CMP（化学机械抛光）设备，能将晶圆表面抛光到原子级平整。而此刻，这台老古董噪音大得像拖拉机，震动得人手脚发麻。
　　
　　“朴总，真空泵又报警了！”伊朗当地的年轻工程师阿米尔满头大汗地跑过来，用蹩脚的英语夹杂着手势喊道，“压力上不去，可能是密封圈老化，也可能是……美国人的卫星在头顶转悠，干扰了电路？”
　　
　　朴成焕接过晶圆，对着灯光仔细端详。表面有明显的橘皮纹，平整度离要求差了十万八千里。他叹了口气，放下晶圆，拍了拍阿米尔的肩膀，指了指自己的耳朵，又指了指机器的轰鸣声，做了一个“听”的手势。
　　
　　阿米尔愣住了，随即明白了朴成焕的意思——在这片被制裁的土地上，连精密的电子传感器都可能不可靠，最可靠的，是人的感官和经验。
　　
　　朴成焕闭上眼睛，将耳朵贴在冰冷的机壳上。震动通过骨骼传导，在他脑海中形成了一幅“频谱图”。他听出了轴承的旷量，听出了气流的阻塞点。他睁开眼，拿起一把扳手，对着机器底部的几个阀门，不紧不慢地调整起来。每调一下，他就侧耳倾听片刻，像是在调校一件乐器。
　　
　　几分钟后，他示意阿米尔开机。机器再次轰鸣，但那声音变了，从杂乱的咆哮，变成了沉稳有力的喘息。压力表指针，缓缓爬升到了绿色的区域。
　　
　　“好……神奇。”阿米尔看得目瞪口呆。这位韩国老工程师，用一种近乎“巫术”的方式，驯服了这台钢铁巨兽。
　　
　　但这只是开始。晶圆再生，最核心的是化学清洗和表面处理。H公司的制裁，连带着封杀了所有高纯化学试剂的供应。朴成焕面临的，是“巧妇难为无米之炊”的绝境。
　　
　　仓库一角，堆满了各种“替代品”：工业级的盐酸、硝酸，甚至还有从当地市场淘换来的、用于清洗地毯的强碱。这些试剂纯度极低，杂质含量是半导体要求的千百倍以上。
　　
　　“不能用。”朴成焕摇着头，拒绝了阿米尔想直接用这些试剂的提议。他走到仓库深处，那里摆满了大大小小的玻璃瓶、蒸馏装置，像极了中世纪炼金术士的实验室。
　　
　　这是他这三个月来的心血——一套完全基于“土法”的纯化系统。他利用当地丰富的天然气资源，通过不完全燃烧制取高纯一氧化碳和二氧化碳；利用沸点差异，对工业酸进行多达二十次的减压蒸馏；利用离子交换树脂（从废旧净水器中拆出来的），吸附重金属离子。
　　
　　这个过程极其缓慢，效率极低。一天下来，提纯出的高纯试剂，还不够清洗一片晶圆。但朴成焕没有放弃。他亲自盯着每一道工序，像呵护婴儿一样，测试每一批试剂的纯度。当第一瓶达到半导体使用标准的***，从这简陋的装置里流出来时，这位在三星拿惯了顶级科研经费的老工程师，竟然像个孩子一样，抱着那瓶透明的液体，老泪纵横。
　　
　　“阿米尔，看。”朴成焕把那瓶酸递给助手，指着瓶身上自己用记号笔写下的“Pure-Level1”，“科学，不依赖设备。科学，依赖这里。”他指了指自己的脑袋，又指了指心脏。
　　
　　靠着这套“土法炼钢”的体系，阿巴斯港的晶圆再生中心，居然真的运转起来了。虽然良品率只有可怜的15%，虽然每天只能处理几片晶圆，但这几片晶圆，却是深微全球“影子网络”里，最珍贵的火种。它们被用来制作“存算一体”芯片的衬底，送往南非的地下机房，供顾渊和顾晓雨进行物理验证。
　　
　　与此同时，远在万里之外的上海，张江高科技园区内，气氛却截然不同。
　　
　　上海微电子装备公司（SMEE）的厂房里，一台崭新的28nm光刻机，正在进行最后的调试。这是国产光刻机的一个里程碑，虽然比国际最先进的7nm、5nm落后几代，但它是中国完全自主设计的产物。
　　
　　“赵总，您看，这就是咱们的‘争气机’！”SMEE的总经理老秦，指着那台庞大的机器，脸上既有自豪，也有难掩的焦虑，“光学系统、双工件台、控制系统，全是咱们自己搞的。但……良品率太不稳定了。跑一整天，能出两三片合格的，就算烧高香了。这成本，谁用得起啊？”
　　
　　赵磊围着光刻机转了好几圈，没有去看那些复杂的仪表，而是蹲下来，用手摸了摸机器底座的减震垫，又看了看排风口的粉尘过滤棉。
　　
　　“老秦，问题出在哪？”赵磊问。
　　
　　“哪都出。”老秦苦笑，“光源功率波动、工件台定位误差、镜头热畸变……每一个环节都有微小偏差，累积起来，就导致成像模糊，良品率上不去。我们的工程师，眼睛都熬红了，就是找不到症结。”
　　
　　赵磊站起身，看着窗外灰蒙蒙的天空，沉声道：“老秦，良品率不是‘测’出来的，是‘用’出来的。你们把机器锁在实验室里，跑几片晶圆，发现良率低，就回来改设计，这叫‘闭门造车’。H公司当年，也是经历了成千上万次试错，才把良品率提上去的。”
　　
　　他转过身，目光灼灼地看着老秦：“我有个提议。深微半导体，愿意做这台光刻机的‘小白鼠’。你把机器，搬到我们凯里厂的试验线去。我们不计成本，用它来流片我们的‘长城三号’芯片——就是那个基于28nm制程的通用工业MCU。哪怕良率只有1%，我们也照单全收。我们要用‘量产’的压力，来倒逼设备的改进。发现问题，当场解决；出现偏差，立刻调整。这叫‘以用促研’！”
　　
　　老秦愣住了。把价值上亿的光刻机搬走？还要不计成本地“试错”？这简直是天方夜谭！但他看着赵磊坚定的眼神，知道这不是玩笑。
　　
　　

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